半导体激光器参数的测量的实验 全息法测量微小位移原理?
全息法测量微小位移原理?广义相移数字全息的微小位移原理:1、采用十字干涉光路,半导体激光器出射的激光经过针孔滤波与透镜准直后成为均匀的平面波数束,经过分束器分为